超音波真空脱泡机，是一种利用高真空合併超音波方式去除液晶等液体内所有气泡之直立 式超音波真空脱泡设备。
本超音波真空脱泡装置荣获中华民国专利新型第M256580号。一般对液体中传送超音波 时，会发生空穴现象(cavitation)，此时，溶于液体中之气体会进入由空穴现象所产生之气泡内，
此气泡集中于超音波振动之节，作周期性的收缩及膨胀，气泡之间相吸而形成大气泡并浮上， 此为超音波脱泡之原理，再藉由抽真空单元将气体带离；相较于传统抽真空装置，纯粹利用高
真空来脱泡，此种利用超音波脱泡原理之辅助，可加速液晶之脱泡速度，远胜以往，只需1/3的 时间，而且脱泡脱的更乾淨。此系统不仅提供了高效率脱气泡的解决方案。
相较于接触式磁石搅拌真空脱泡易产生Byproduct污染溶液，非接触式的超音波辅助脱泡， 更可维持液晶之高洁淨度。且经由工研院材化所之分析显示，经超音波震盪后之液晶(A56)与
未经超音波振盪之液晶(A33)，成分一样无变化。
超音波真空脱泡机使用触控式液晶萤幕及智慧型电脑化操作介面，提供使用者方便简易的 製程参数设定；多达20组製程配方设定，足供使用者管理不同液晶的脱泡方式与时程。一般溶
液仅在少数几个压力点上剧烈脱泡，不同溶液会有不同剧烈脱泡压力点，製程压力须能控制在
少数几个剧烈脱泡压力点上，并且在这些压力点上辅以超音波振动，才能使溶液快速且大量的
脱泡；因此，此机提供了7个step(包含抽真空与持压共14个阶段)可供设定，更使用了无段式
Throttle Valve 之压力控制系统(Automatic Pressure Control System)精确设定压力。依据试验结果，
在这些压力点上，经由超音波振动之液晶，远较无超音波振动之液晶，可提早触发其大量冒泡
现象，且相对持久，亦即是脱泡较完全；而分段快速脱泡亦可防止液晶overflow的产生。多达20
组之製程配方设定，足供使用者使用。
除了多样的配方设定外，先慢速后快速破真空功能，以及先慢速后快速抽气功能，均可避
免扬尘。同时还有CCD监视系统监看脱泡情形。
本机为自动回馈控制超音波振盪频率20KHz，任何一Step均可设定超音波发振功率
(Efficiency ) ，设定值从 1 ~ 8 段， 设第8段为电子箱最大输出功率，设第1段为电子箱最小输出
功率，可配合不同液晶之实际需求来设定；同时超音波之使用可选择持续发振 或间断发振，
本设备共有６组超音波振动子，每组超音波振动子皆可独立选择持续发振或间断发振，若选择
时间断发振，电子箱将依照间断时间设定，间断输出功率。若选择时持续发振，电子箱将持续
输出功率。如此多样方式的搭配可更加发挥超音波辅助脱泡的功能，更快速更完全的完成脱泡
目的。此外本机还有N2流量控制的功能，在设定製程配方的过程中，为防止溶液因腔体内压力
变化而溢流出容器瓶外，设有氮气启动按钮，可于操作过程中发现即将发生溢流现象时，适时
增加氮气，防止溢流产生。
本机每次脱泡最多可放置6瓶1000ml液晶，一台超音波真空脱泡机可抵用四台以上磁石真空
脱泡机，可有效精简机台数目，佔用无尘室总面积可大幅缩小，节省无尘室昂贵的RUNNING
COST。
超音波真空脱泡机可应用于LCD和其他光电产业之各种液晶脱泡，实为量产或製程开发之
最佳选用机型。