超 音 波 旋 转 加 工 机
超音波加工之发展,主要是应用于硬、脆性材料的加工,以及提高 硬、脆性材料的加工效率。超音波加工已成功地应用于碳化物、不锈钢 、陶瓷和玻璃等…材料的加工。
超音波制程配合许多传统的车削、钻削及镗孔加工,可以有效率地 加工金属与非金属材料。其优点包括增加材料去除率,减少工具磨耗, 以及改善加工表面。
近年来半导体及3C产业制程中,对硬脆材料之加工需求日益增多。
超音波有鉴于超音波加工之需求,历经多年研究,开发出超音波旋 转加工主轴。
其加工所用之工具,系以高速回转(6000rpm)及轴向高频率振动(20 KHz/35KHz)进行加工,可应用于钻削、切削、搪削、或螺纹切削加工。
超音波旋转加工主轴并可轻易的加装于 CNC 机台。
一、加工原理
超音波旋转加工主轴,使用刀具与工件接触以进行切削,这点与超 音波磨料加工不同。其所使用的钻石刀具以高速回转,作为磨削的功用 。有些加工场合,工件也需旋转。在轴向、高频率振动、及刀具回转等 多重运动下,可以促进切除材料。
二、切削加工
超音波旋转加工主轴,常用于加工硬脆、难切削材料,如陶瓷和纯 铁材料,也能在铝合金、玻璃、石英、锆、红宝石、蓝宝石、氧化铍、 硼等提供有效率地切削加工。
三、钻孔加工
钻孔加工要在很硬的材料上,以传统刀具钻小孔是很困难的事;钻 头可能会偏斜,在真直度公差方面很难加以控制。在硬材料上钻孔时,
超音波旋转加工通常会比传统钻孔更精密。冷却剂系由钻头心部流入, 以便冲走切屑,并冷却刀具,也有些刀具是由外部供应冷却剂。
加工时钻石钻头可以轴向振动来降低摩擦力,会比传统方法更有效 率且快速;而且刀真和心部之阻塞也可以减少。
四、应用于硬脆材料加工之优势
CNC超音波旋转主轴加工机,由于刀具本身即是一组超音波纵振动 喇叭,因此与传统 CNC 主轴加工机,应用于硬脆材料加工之优势如下:
1.减轻加工阻力
2.提高加工效率
3.
4.刀具本身绝不沾黏残屑,延长刀具使用寿命
5.不会残留加工应力
五、应用领域
CNC超音波旋转主轴加工机,应用领域
1.玻璃加工(触控面板)
2.半导体、晶圆...等零件之硬脆材料(如石英、碳化硅、氧化锆...等
)的承载盘、载具等的加工
3.加工模式
钻孔、开方(圆)孔、修边、导角、铣长槽孔、铣盲孔...等
超音波CNC旋转加工机
超音波CNC旋转加工机
超音波旋转加工主轴
超音波刀具(端铣刀)
超音波刀具(端铣刀)
超音波刀具(外径1.6φ管刀)
玻璃钻孔(厚度0.5mm/孔径1.6φ)
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